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潔凈厭氧高溫氣氛爐
晶圓制造過程中，對晶圓表面涂布的光刻膠（聚酰氬胺）進行高溫固化處理。
◆最高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
◆程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式
◆快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
◆配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等
◆在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、
氮氣流量常、 過電流漏電保護斷路器等安全裝
◆最高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
◆程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式
◆快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
◆配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等
◆在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、
氮氣流量常、 過電流漏電保護斷路器等安全裝
規格：
溫度范圍：室溫＋30～360℃
潔凈度：100級（升溫/恒溫/降溫全程）
氧濃度：20ppm以下
高氣密性，采用磁傳動送風方式；
降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式；
上一個：
抽屜烘箱
下一個：
HTRB/HTGB高壓高溫反偏測試系統